? 流量范圍從0-5 sccm 到0- 1000slpm(氮氣)
? 設(shè)定點的響應(yīng)時間不超過1sec
? 控制精度可達(dá)實際流量的百分之一
? I/O(輸入&輸出)可選模擬和 數(shù)字信號
? 可實現(xiàn)本地/遠(yuǎn)程設(shè)置/顯示
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